Mertens / Meuris / Heyns

Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XI

Trans Tech Publications

ISBN 978-3-03785-527-0

Standardpreis

203,00 €

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Bibliografische Daten

Taschenbuch. Softcover

2013

Umfang: 350 S.

Format (B x L): 17 x 24 cm

Gewicht: 800

Verlag: Trans Tech Publications

ISBN: 978-3-03785-527-0

Weiterführende bibliografische Daten

Das Werk ist Teil der Reihe: Solid State Phenomena; 195

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