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Technologien der Mikrosysteme
Materialien, Prozesse und Herstellung halbleiterbasierter Systeme
2., aktualisierte Auflage 2026
Springer Vieweg
ISBN 978-3-658-52856-0
Standardpreis
Bibliografische Daten
Fachbuch
Buch. Softcover
2., aktualisierte Auflage 2026. 2026
221 s/w-Abbildungen, 47 Farbabbildungen.
Umfang: xiii, 260 S.
Format (B x L): 16,8 x 24 cm
Verlag: Springer Vieweg
ISBN: 978-3-658-52856-0
Produktbeschreibung
Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik – von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.
Autorinnen und Autoren
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