Sharma / Lim / Singh

Radio Frequency Sputtering

Thin-Film Deposition and Device Applications

Wiley-VCH GmbH

ISBN 978-3-527-35622-5

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Bibliografische Daten

Fachbuch

Buch. Hardcover

2026

In englischer Sprache

Umfang: 432 S.

Format (B x L): 17 x 24.4 cm

Verlag: Wiley-VCH GmbH

ISBN: 978-3-527-35622-5

Produktbeschreibung

The book covers the fundamentals and advanced techniques of radiofrequency sputtering, including process optimization, troubleshooting, and sustainability practices. It provides a comprehensive overview of the technique, its applications in various industries, and practical guidance for researchers and engineers. It focuses on established and emerging applications and thus is a must-have reference for researchers in academia and developers in industry.

Autorinnen und Autoren

Produktsicherheit

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Wiley-VCH GmbH

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